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具有收容环境检测的基板收容装置

摘要

本发明揭露一种具有收容环境检测的基板收容装置,具有可拆卸地连接于一外盒的一检测装置,所述检测装置包含一感测部,其具有一感测端、一腔体及一感测器,所述感测部可拆卸地连接于所述外盒,使所述感测端暴露于所述外盒内侧的一容置空间,所述腔体延伸于所述外盒的一外侧和所述容置空间之间并容置所述感测器,所述腔体经由所述感测端通信连接所述外盒的容置空间,藉此让所述感测器读取关于所述容置空间的信息。

著录项

  • 公开/公告号CN114326294A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-04-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 家登精密工业股份有限公司;

    申请/专利号CN202111073036.9

  • 发明设计人 邱铭乾;庄家和;薛新民;林韵孜;

    申请日2021-09-14

  • 分类号G03F1/66(20120101);G01D21/02(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人周永君;董骁毅

  • 地址 中国台湾新北市

  • 入库时间 2023-06-19 14:53:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-12

    公开

    发明专利申请公布

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