公开/公告号CN114326294A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 家登精密工业股份有限公司;
申请/专利号CN202111073036.9
申请日2021-09-14
分类号G03F1/66(20120101);G01D21/02(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人周永君;董骁毅
地址 中国台湾新北市
入库时间 2023-06-19 14:53:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
公开
发明专利申请公布
机译: 如何从板处理设备的桌子上卸下板处理设备和板
机译: 基板检查装置及具备该基板检查装置的基板处理装置
机译: 基板搬运装置,基板搬运方法及零件安装装置