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公开/公告号CN114342053A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201980100031.5
发明设计人 D·米克尔松;Y·弗莱;
申请日2019-09-16
分类号H01L21/66(20060101);H01L21/68(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人刘丽楠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 14:49:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
公开
国际专利申请公布
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