公开/公告号CN114342564A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN202080062427.8
申请日2020-09-04
分类号H05G2/00(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人赵林琳
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 14:49:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
公开
国际专利申请公布
机译: 生成器,生成方法,生成程序,训练数据和模型
机译: 生成器,生成方法和生成程序