ModelingNano のための3 次元光学顕微計測に関する研究－多光束干渉を利用した広範囲3 次元変調照明生成·制御装置の開発

摘要

ナノ·マイクロレベルの計測技術は急速に発展しており，これらの顕微計測技術を利用してインラインでワークの高精度な形状モデルが得られれば，製品の良否を的確に判別でき，無駄のない効率的な生産工程を生み出すことが可能となる．しかしながら，従来の光学顕微鏡では回折限界や被写界深度の浅さゆえ，詳細な3 次元計測データを取得するのが困難であった．本研究では，ナノ·マイクロ領域における形状再構築を実現するため，面内方向と光軸方向に超解像度化を達成する多光束干渉を利用した広範囲3 次元変調照明生成手法を利用した計測技術の開発を目的としている．本手法は，遠隔伝搬光結像の一括取得，光学画像並列処理，光計測の本質である非破壊性，複数情報取得に基づいた外乱抑制，の観点から，次世代のナノ·マイクロデバイスの生産現場における高速計測手法として有効なアプリケーションとなることが期待できる．