公开/公告号CN114289391A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-08
原文格式PDF
申请/专利权人 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司;
申请/专利号CN202111666003.5
发明设计人 陈海龙;
申请日2021-12-31
分类号B08B3/08(20060101);
代理机构61253 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人姚勇政;沈寒酉
地址 710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
入库时间 2023-06-19 14:49:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-08
公开
发明专利申请公布