公开/公告号CN114295081A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-08
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申请/专利权人 上海精测半导体技术有限公司;
申请/专利号CN202111660055.1
申请日2021-12-30
分类号G01B15/00(20060101);
代理机构31286 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人黄海霞
地址 201702 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层
入库时间 2023-06-19 14:48:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-08
公开
发明专利申请公布