公开/公告号CN114279566A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN202111682344.1
申请日2021-12-30
分类号G01J3/28(20060101);
代理机构22218 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人郭婷
地址 130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
入库时间 2023-06-19 14:46:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-05
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法
机译: 亮度控制装置,发光装置及亮度控制方法