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一种输入输出同向或反向的模块化差动柔性位移缩小机构

摘要

一种输入输出同向或反向的模块化差动柔性位移缩小机构,包括正向运动模块、反向运动模块和驱动器;正向运动模块的两端分别连接到反向运动模块的一端;本发明利用正向运动模块和反向运动模块的组合实现位移的差动叠加,可以得到大的位移缩小比,从而大幅提升运动的分辨率和精度;本发明可以与宏动平台配合,实现大范围、超高精度的运动定位。

著录项

  • 公开/公告号CN114280899A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-04-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安交通大学;

    申请/专利号CN202210026771.2

  • 发明设计人 陈贵敏;李玲玲;吴厚旗;

    申请日2022-01-11

  • 分类号G03F7/20(20060101);

  • 代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;

  • 代理人贺小停

  • 地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号

  • 入库时间 2023-06-19 14:46:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-05

    公开

    发明专利申请公布

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