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公开/公告号CN114280899A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 西安交通大学;
申请/专利号CN202210026771.2
发明设计人 陈贵敏;李玲玲;吴厚旗;
申请日2022-01-11
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人贺小停
地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
入库时间 2023-06-19 14:46:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-05
公开
发明专利申请公布