公开/公告号CN114261093A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-01
原文格式PDF
申请/专利权人 长安大学;
申请/专利号CN202210102641.2
申请日2022-01-27
分类号B29C64/379(20170101);B29C64/141(20170101);B33Y40/20(20200101);B33Y10/00(20150101);
代理机构61218 西安睿通知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人惠文轩
地址 710064 陕西省西安市南二环中段33号
入库时间 2023-06-19 14:45:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-01
公开
发明专利申请公布
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置