示教装置、基板搬送装置、基板处理装置及示教方法

摘要

本发明提供能高精度且提早完成示教作业，能简单地确保装置内的清洁度的示教装置、基板搬送装置、基板处理装置及示教方法。示教装置在对基板支承并搬送的机器人所进行的基板相对于设置于载置室的基板载置部的搬送动作中，将机器人的支承基板的支承部应遵循的路径向对机器人控制的控制部进行示教，该示教装置具备：示教用夹具，支承于支承部；第一定位部件，将示教用夹具相对于支承部定位；特征部，用于表示示教用夹具的位置；检测夹具，设置于基板载置部，具有检测特征部相对于基板载置部的位置的位置检测部件；第二定位部件，将检测夹具相对于基板载置部定位；以及取得部，基于从位置检测部件取得的特征部的位置来取得应存储于控制部的路径。