一种柔性薄膜温度传感器、制备方法及物性检测方法

摘要

一种柔性薄膜温度传感器，由底部往上依次包括柔性基底层、绝缘层、功能层以及保护层，所述绝缘层与功能层间设置有过渡层，所述过渡层为Ta2O5层，所述Ta2O5层采用射频反应磁控溅射的方法沉积于绝缘层上。本发明还涉及该柔性薄膜传感器的制备方法和物性检测方法，本发明得到的柔性薄膜温度传感器能有效缓解薄膜伸缩开裂问题，且结构致密均匀，从而使得热接点的体积更小，热容量减小，提高灵敏度。制备过程中采用独特的物性检测方法，快速、便捷、准确地表征各层薄膜材料厚度、形貌及原子高温扩散浓度，进一步提高产品的次品检出率。