一种基于压电陶瓷传感器的超精密切削准静态力检测系统

摘要

本发明涉及超精密切削技术领域，特指一种基于压电陶瓷传感器的超精密切削准静态力检测系统，包括压电陶瓷力感知单元，其受到所述单点金刚石刀具的作用力并产生电荷信号至外部的后处理模块，后处理模块包括：前置电荷放大电路，低通滤波电路，ADC模块，DSP信号处理器和计算机；计算机，基于每一时刻动态变化力fi的求解，通过对前i时刻动态变化力的累加，得到第i时刻作用在压电陶瓷力传感器上的实际作用力Fi；本发明从压电陶瓷电荷泄露效应原理出发，基于对压电陶瓷力传感器电荷泄露的动态补偿，来实现基于压电陶瓷力传感器的准静态力检测功能。