公开/公告号CN114238016A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-25
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申请/专利权人 山东新一代信息产业技术研究院有限公司;
申请/专利号CN202111531617.2
申请日2021-12-15
分类号G06F11/30(20060101);G06F17/18(20060101);
代理机构37100 济南信达专利事务所有限公司;
代理人孙晶伟
地址 250100 山东省济南市高新区港兴三路北段未来创业广场3号楼11-12层
入库时间 2023-06-19 14:39:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-25
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法