一种超疏水纳米结构有机薄膜的定向生长调控方法

摘要

本发明涉及一种超疏水纳米结构有机薄膜的定向生长调控方法，其特点是：对金属基片进行超声清洗；对聚四氟乙烯靶进行预溅射；调控霍尔离子源与金属基片之间的距离以及霍尔离子源的阳极电压、阳极电流、灯丝电流，对金属基片表面定向刻蚀；在金属基片表面溅射氟碳有机薄膜；将沉积氟碳有机薄膜的样品进行高温退火、快速升温，然后降至室温，得到超疏水纳米结构有机薄膜。本发明通过离子刻蚀改变溅射颗粒的沉积位点，经溅射过程调控颗粒动能和势能，优化沉积位点，采用高温退火工艺提升薄膜结晶度，使薄膜不仅定向生长过程可控，而且具有超疏水、低二次电子发射系数等优点，尤其适用于提高开关柜和组合电器等电力设备的环境耐候性和绝缘稳定性。