一种凹非球面镜的改进补偿检测系统及其检测方法

摘要

本发明公开了一种凹非球面镜的改进补偿检测系统，包括干涉仪、补偿镜一和补偿镜二，补偿镜一的前表面中心区域为前表面中心区，前表面中心区外的环形区域为前表面环形区，补偿镜一的后表面中心区域为后表面中心区，后表面中心区外的环形区域为后表面环形区，前表面中心区、后表面环形区均镀有增透膜，后表面中心区、前表面环形区均镀有反射膜；干涉仪发出的球面波经补偿镜一、补偿镜二折射到待检测非球面镜上，最后经反射后沿原路返回至干涉仪上。本发明还公开了一种凹非球面镜的改进补偿检测系统的检测方法。本发明的凹非球面镜的改进补偿检测系统及其检测方法，仅仅使用两块透镜即可实现预期的检测精度要求，调试难度低，操作简单，使用方便。