一种亚微米精度非接触式球内外表面间距测量的装置

摘要

本发明公开了一种亚微米精度非接触式球内外表面间距测量的装置，包括：标准具、激光模块、光路模块、图像采集处理模块和光路对准模块；激光模块用于发射并测量波长可溯源的激光光束；标准具放置于待测球体内侧或外侧，用于反射激光并与球面反射光形成干涉条纹；光路模块用于实现激光光束的反射与对准；图像采集处理模块用于接收所述干涉条纹，存储并处理采集的干涉条纹图像；光路对准模块用于调节球心连线与所述激光光束的平行。本发明通过标准具角度二维调制技术确定球内表面间距极小值和外表面间距极大值，结合球直径，实现球心间距的亚微米精度测量。由内、外表面间距分别得到的球心间距，两结果相互验证，提高测量结果可靠性。