表面粗糙度的高精度非接触式测量

摘要

非接触式表面相糙度测量以其高精度、无损伤、测量速度快等特点得到了广泛的应用.文中对光散射法、干涉法、散斑法、衍射投影法以及超声检测法等表面粗糙度测量方法的最新研究进展进行了总结介绍,论述了各测量方法的优缺点及发展趋势.