一种CMOS工艺集成肖特基器件的制程整合工艺

摘要

本发明涉及一种CMOS工艺集成肖特基器件的制程整合工艺。充分利用CMOS的工艺来实现将肖特基器件集成做在同一块芯片上。本发明在CMOS常规工艺制程中，即可满足肖特基器件要求。