镀膜电源系统及包括镀膜电源系统的镀膜装置

摘要

本申请是关于一种镀膜电源系统。该镀膜电源系统包括：升压DCDC电路、隔离DCDC电路、调压DCDC电路以及脉冲发生电路；升压DCDC电路的输出端与隔离DCDC电路的输入端相连；隔离DCDC电路的输出端与调压DCDC电路的输入端相连；调压DCDC电路的输出端与脉冲发生电路的输入端相连；隔离DCDC电路包含滤波电感L2与储能电容C3，通过短路开关K1将滤波电感L2短路；脉冲发生电路包含桥式逆变电路以及输出电路，输出电路由输出电感L5与输出负载串联组成；升压DCDC电路的输入端处连接有整流器，整流器用于将交流输入电压转换为低频直流电压。本申请提供的方案，能够输出适用于光伏镀膜、半导体镀膜等应用领域的方形波脉冲，满足电源性能要求高的应用场景的电源质量要求。