磨料流加工工具、用于确定工件上的材料去除的方法以及用于确定研磨介质的磨削能力的方法

摘要

本发明涉及一种磨料流加工工具(10)，包括：研磨介质驱动装置(24)，其适于使研磨介质(14)沿流动方向在工件(12)的表面上移动和/或移动通过工件(12)的开口(16)；用于保持工件(12)的工件保持器(18)，工件保持器具有能够定位在工件(12)的相反侧部上的两个部件(20，22)；结构声传感器(36)，用于测量在工件(12)被研磨介质(14)加工时所述工件中产生的结构声；以及评估单元(38)，该评估单元适于基于由结构声传感器(36)测量的结构声的均方根关于时间的积分值来确定研磨介质(14)的磨削能力和/或从工件(12)的材料去除率。本发明还涉及一种用于确定从工件的材料去除的方法和一种用于确定研磨介质的磨削能力的方法。