一种具有双微波谐振腔的微波等离子体炬装置及其使用方法

摘要

本发明公开一种具有双微波谐振腔的微波等离子体炬装置及其使用方法，包括腔体部分，微波耦合部分和调谐部分；腔体部分包括同轴放置的谐振腔一与谐振腔二，谐振腔二置于谐振腔一之上；谐振腔一为一端开放的同轴谐振腔结构，微波传输模式为TEM模，谐振腔二为支持TM010传输模式的谐振腔结构。微波耦合部分可以电导耦合、电容耦合、磁场耦合等方式将微波能量耦合到腔体部分。本发明减小了微波辐射，提高了微波功率和等离子体的激发能力，减少了微波耦合部分对腔体部分轴对称电磁场分布的破坏，减小了环境气体对等离子体的扰动，适用功率范围较宽，可在低压到常压范围内进行工作。