亚硫酸金钠金水及其合成方法和应用

摘要

本发明涉及无氰镀金液领域，公开了亚硫酸金钠金水及其合成方法和应用。该制备方法包括：将氯金酸溶液与氨水进行沉淀反应，得到明亮的橙黄色沉淀产物；其中，氨水的浓度为10‑15wt％，且沉淀产物的终点pH为7.2‑8.5；将所述沉淀产物进行清洗过滤，得到雷酸金沉淀；将所述雷酸金沉淀与水混合配制成浆液，然后所述浆液与亚硫酸盐进行初始反应，再调节得到的反应产物的终止pH大于10且不大于11，得到碱性产物；将所述碱性产物进行再反应，得到不含三价金配合物的镀金液。获得无色的、而非仅是透明的无氰镀金液，即无色透明亚硫酸金钠金水，稳定性好、克服了杂质影响。能够应用于晶圆和芯片的加工中，尤其是晶圆电镀金的应用。