公开/公告号CN114167694A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司;
申请/专利号CN202010948697.0
申请日2020-09-10
分类号G03F9/00(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构11619 北京辰权知识产权代理有限公司;
代理人刘广达
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-06-19 14:28:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-11
公开
发明专利申请公布
机译: 时间管理设备,时间参考设备,参考时间管理系统和参考时间管理方法