一种多层薄膜材料热导率在线测量装置与测量方法

摘要

本发明公开了一种多层薄膜材料热导率在线测量装置与测量方法，所述装置包括：长度不同的两组双端固支梁和三组金属电极；两组双端固支梁包括第一双端固支梁组和第二双端固支梁组；三组金属电极包括第一金属电极组、第二金属电极组和第三金属电极组。所述方法包括：对每一根双端固支梁施加恒定电流I进行加热，测量加热过程中每一根双端固支梁两端的瞬态电压，当温度达到稳态时，测量每一根双端固支梁两端的稳态电压；基于测量的数值，通过拟合并求解预设方程组，得到各层薄膜的热导率。本发明具有操作简单，成本低，无需真空环境，测量速度快的优点。