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一种改善蓝、绿光半导体激光器散热性能的方法

摘要

本发明公开了一种改善蓝、绿光半导体激光器散热性能的方法。通过对衬底打盲孔或通孔的处理方式,在孔内引入金刚石,获得金刚石嵌入式衬底,显著提高衬底导热能力。在该衬底上外延生长蓝、绿光激光器垂直结构,得到强散热、高效率的蓝、绿光激光器。本发明采用的处理方法具有工艺稳定、成本低廉、成品率高、设备简单易操作、适合产业化生产等优点。

著录项

  • 公开/公告号CN114142338A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-03-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京大学;

    申请/专利号CN202111399798.8

  • 申请日2021-11-19

  • 分类号H01S5/024(20060101);H01S5/34(20060101);H01S5/343(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/50(20060101);C30B25/02(20060101);C30B29/04(20060101);

  • 代理机构11360 北京万象新悦知识产权代理有限公司;

  • 代理人李稚婷

  • 地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号

  • 入库时间 2023-06-19 14:23:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-04

    公开

    发明专利申请公布

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