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化学品输送系统和消除化学品输送管路静电的方法

摘要

本申请涉及一种化学品输送系统和消除化学品输送管路静电的方法,包括化学试剂输送管、储液装置和气溶胶发生装置。所述储液装置用于储存气溶胶产生溶液。所述气溶胶发生装置的输入端和输出端分别与所述储液装置和所述化学试剂输送管连通。所述储液装置中的气溶胶产生溶液进入所述气溶胶发生装置。所述气溶胶发生装置将所述气溶胶产生溶液由液态转换为气溶胶的状态。所述气溶胶进入所述化学试剂输送管内扩散,并吸附消除所述化学试剂输送管中的带电荷的离子,从而可以避免静电离子遇到易燃易爆的化学试剂发生火灾或者爆炸。

著录项

  • 公开/公告号CN114143947A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-03-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长鑫存储技术有限公司;

    申请/专利号CN202010915729.7

  • 申请日2020-09-03

  • 分类号H05F3/00(20060101);H01L21/67(20060101);

  • 代理机构44224 华进联合专利商标代理有限公司;

  • 代理人张彬彬

  • 地址 230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

  • 入库时间 2023-06-19 14:23:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-04

    公开

    发明专利申请公布

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