具有一致MRAM裸片定向的MOKE计量的系统及方法

摘要

本发明公开一种计量工具，其包含用以产生磁场的磁铁及用以将多个MRAM裸片定位在所述磁场中的MRAM晶片上的载物台系统。所述载物台系统包含其上将要安装所述MRAM晶片的卡盘。所述计量工具进一步包含用以提供激光束且引导所述激光束以入射于经定位在所述磁场中的相应MRAM裸片上的光学器件。所述计量工具额外包含用以接收由所述相应MRAM裸片反射的所述激光束且测量所述反射激光束的偏振的旋转的检测器。所述计量工具可配置以为所述MRAM晶片上的每一MRAM裸片提供相对于所述激光束的所述偏振的共同定向。