具有用于功率监视的集成光电检测器的环形谐振器

摘要

一种环形谐振器设备包括具有迂回配置的无源光学腔，在迂回配置中构建有光电检测器设备。光电检测器设备包括形成在无源光学腔内的第一注入区，第一注入区包括第一类型的注入掺杂材料。光电检测器设备包括形成在无源光学腔内的第二注入区，第二注入区包括第二类型的注入掺杂材料，其中，第二类型的注入掺杂材料不同于第一类型的注入掺杂材料。光电检测器设备包括存在于第一注入区和第二注入区之间的无源光学腔内的本征吸收区。第一电接触电连接至第一注入区并且电连接至检测电路。第二电接触电连接至第二注入区并且电连接至检测电路。