一种耐腐蚀性混酸阳极氧化工艺

摘要

本发明提供了一种耐腐蚀性混酸阳极氧化工艺，包括以下步骤：步骤1：机加工：对铝合金工件进行机加工，并使关键尺寸的表面粗糙度符合要求；步骤2：表面处理：去除表面氧化皮直至表面光亮、无过抛；步骤3：氧化：选择草酸与硫酸混合的电解液,所述草酸的浓度为5‑30g/L，所述硫酸的浓度为50‑250g/L，所述电解液的温度为8‑15℃，16±1V稳压，氧化时间为60±10min，结束后水洗，所述表面膜厚10‑15μm；步骤4：封孔：将工件封孔，将氧化好的工件放入90‑100℃纯水中封孔，封孔时间为0.5‑1小时，吹干，静置20‑26小时。本发明适用于半导体设备，精度好，得到氧化膜厚度小于20μm，且有很好的耐腐蚀性。