一种基于单相机的microLED深度测量的装置

摘要

高精度的微米深度测量在许多领域都具有重要意义。目前已提出了许多测量球面深度的方法，但是它们中的很少一部分可以测量平面物体的深度，例如在亮度、能耗和相应速度方面有优势的μLED。深度测量是μLED转移印刷的关键技术之一。本发明提出了一种利用单摄像机对μLED阵列进行深度测量的方法。所述装置包括相机模块1、微操作台模块2和μLED阵列模块3。该方法采用高精密位移台进行了标定，评估了μLED的不确定因素，如相机畸变、相机倾斜、曲线拟合和表面粗糙度等。结果表明，本发明的相对标准不确定度约为3.9％。这表明所提出的系统是非常稳定且可重复的。