公开/公告号CN114112930A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 立邦涂料(中国)有限公司;广州立邦涂料有限公司;
申请/专利号CN202011009180.1
申请日2020-09-23
分类号G01N21/25(20060101);G01B5/06(20060101);
代理机构11253 北京中北知识产权代理有限公司;
代理人段秋玲
地址 201201 上海市浦东新区金桥出口加工区南区创业路287号
入库时间 2023-06-19 14:20:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-01
公开
发明专利申请公布
机译: 比率误差测试的测试方法和装置
机译: 接触孔标准测试装置,其形成方法,接触孔的测试方法,用于测量膜厚度的方法和设备以及晶片的测试方法
机译: 接触孔标准测试装置,其形成方法,接触孔的测试方法,用于测量膜厚度的方法和设备以及晶片的测试方法