一种原子力显微镜样品应力施加装置

摘要

本发明提供了一种原子力显微镜样品应力施加装置，包括固定底座、中轴柱和样品台，所述样品台中部和所述固定底座之间通过所述中轴柱连接，所述固定底座与原子力显微镜的测试台可拆卸连接；所述样品台远离中轴柱的表面为弧面，用以放置样品以使样品保持与样品台表面相同的曲率。该样品应力施加装置结构简单、施加应力的工艺和材料成本低廉，且可以直接集成到原子力显微镜内，操作方便，适用于对柔性衬底的薄膜样品进行应力状态下的微观表征。