基片交接单元及基片交接装置

摘要

本发明提供一种基片交接单元及基片交接装置，基片交接单元包括定子及动子；所述定子包括线圈以及沿轴向设置的内腔，所述线圈围绕所述内腔周向设置；所述动子包括磁体及气浮轴承，所述磁体沿所述定子的轴向可活动地设置于所述内腔中；所述磁体用于在所述线圈的驱动下沿所述定子的轴向移动；所述磁体通过所述气浮轴承气浮连接于所述内腔中；所述气浮轴承至少包括上气浮面与下气浮面，所述上气浮面与所述下气浮面沿所述定子的轴向间隔分布，且所述上气浮面的延伸方向与所述下气浮面的延伸方向相同。如此配置，每个基片交接单元均独立包括定子和动子，能够各自独立地调整，减小集成的难度。气浮轴承的设置进一步提高基片交接单元的稳定性和可靠性。