半导体电路制造厂房

摘要

本发明公开一种半导体电路制造厂房，该半导体电路制造厂房包括第一层超净间和第二层超净间；所述第二层超净间位于所述第一层超净间的上方，且所述第二层超净间与所述第一层超净间的洁净等级不同，所述第一层超净间与所述第二层超净间之间设置有自动升降装置，所述自动升降装置用于在所述第一层超净间与所述第二层超净间之间转运产品。本发明半导体电路制造厂房设计布局占地面积小，并且能够保证超净间的洁净度。