用于半导体器件的布线材料、用于半导体型器件的布线及包括布线的半导体型器件

摘要

提供用于半导体器件的布线材料、用于半导体型器件的布线及包括布线的半导体型器件，所述布线材料包括：基于硼化物的化合物，其包含硼和选自2至14族的元素的至少一种金属。