一种修整盘小锭的制造方法及制造工具

摘要

本发明公开了一种修整盘小锭的制造方法，包括：金刚石的筛选步骤、物料的准备与放置步骤、物料的固定步骤、放置金刚石步骤、注入高分子树脂、加热固定形成步骤；本发明采用反铸工艺，金刚石顶端对齐效果更好，实际工作的金刚石数量远远高于传统修整盘，大幅提高修整效率。同时金刚石粘固更紧，不易脱落，降低损伤晶圆的风险。反铸工艺使金刚石形态也更加完好，寿命长，能大幅降低晶圆厂的成本。针对传统修整盘的缺点进行改善，具有广阔的应用前景。