一种湿法浸泡和低温退火复合提高石墨烯性能的方法

摘要

本发明一种湿法浸泡和低温退火复合提高石墨烯性能的方法，由以下步骤组成：将刻蚀掉生长基底的PMMA/石墨烯薄膜浸泡在甲酰胺溶液中，以增强石墨烯薄膜的亲水性；用目标衬底捞起PMMA/石墨烯，形成PMMA/石墨烯/目标衬底三明治结构；将PMMA/石墨烯/目标衬底浸泡在丙酮溶液中除去PMMA；采用低压低温气氛退火去除转移过程中石墨烯上残留的PMMA光刻胶，工艺中H2作为还原性气体，可与PMMA中的碳原子在高温下反应形成相应的碳氢化合物气体脱离石墨烯表面。该方法包含的两种处理工艺相辅相成、互不影响，既可较好的避免石墨烯表面褶皱的形成，又可高效去除石墨烯表面附着的PMMA残留物，获得完美性能的石墨烯薄膜，以实现石墨烯材料在微电子元器件及传感器中的广泛应用。