法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B21/16 专利申请号:2021113951132 申请日:20211123
实质审查的生效
机译: 通过以两种不同的分辨率测量反向散射电子的密度来测量局部晶格间距的方法,一种用于检测测量面积,另一种用于测量晶格间距
机译: 带电极间距离测量功能的行式脂肪测量装置
机译: 带电粒子束曝光设备的缩小率测量方法,带电粒子束曝光设备的阶段相位测量方法,带电粒子束曝光设备的控制方法以及带电粒子束曝光设备