一种叉指背接触电池的制作方法

摘要

提供了一种叉指背接触电池及其制作方法，所述制作方法包括：提供N型硅片衬底，并对衬底进行双面制绒；在衬底的背面形成依次交替呈直线排列的P+掺杂区和N+掺杂区；在衬底的正面进行磷扩散处理，形成磷掺杂层；在衬底的掺杂区上形成第一氮化硅层，且在磷掺杂层上形成第二氮化硅层；在衬底的第一氮化硅层上分别形成正电极和负电极，以获得所述叉指背接触电池。本发明所提供的叉指背接触电池及其制作方法，通过分别对电池的背面和正面进行磷掺杂，且在对电池的正面进行高温磷扩散的同时对电池的背面进行磷离子注入的退火，从而实现单独控制电池的正面方阻、背面方阻和钝化性能的效果，有利于提升电池的转换效率。