机器学习方法、机器学习装置、机器学习程序、通信方法及成膜装置

摘要

本发明中：观测状态变量，该状态变量包含关于成膜的性能评价的至少1个物理量、以及至少1个成膜条件；根据所述状态变量，计算对所述至少1个成膜条件的决定结果的回报；根据所述回报，更新用于根据所述状态变量决定所述至少1个成膜条件的函数；通过反复进行所述函数的更新，从而决定获得所述回报最多的成膜条件；其中，所述至少1个成膜条件是关于真空排气系统的第1参数、关于加热冷却系统的第2参数、关于蒸发源系统的第3参数、关于工作台系统的第4参数、以及关于工艺气体系统的第5参数中的至少1个，所述至少1个物理量是关于皮膜的膜质特性、机械特性、以及物理特性中的至少1个。