超精密位置探测光电信号解算结果有效性评价方法及系统

摘要

本发明提供的超精密位置探测光电信号解算结果有效性评价方法及系统，将照明光源分别移动到对准光栅标记前全反射区域；以时间T为间隔控制信号发生器分别产生与N个衍射级光电信号对应的余弦电压信号；发生器驱动输出的余弦电压信号驱动照明光源产生同频余弦光信号；光电探测器对余弦光信号进行光电转换并由信号调理电路进行偏置调整和信号放大后，模数转换器进行AD转换；将照明光源分别移动到对准光栅标记后全反射区域，并重复上述步骤；数字信号处理模块进行余弦拟合与MCC评价，以两次MCC最小值作为定位位置解算有效性评价依据。解决现有MCC评价方法不适用于单通道数据采集器直接采集多衍射级次光电复合信号方案下的定位位置解算结果评价的弊端。