一种基于聚二甲基硅氧烷的柔性可拉伸硬度传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于聚二甲基硅氧烷的柔性可拉伸硬度传感器及其制备方法。其整体为薄膜结构，包括从下至上紧密结合的下层PDMS粘贴层、应变传感层和压力传感层。下层PDMS粘贴层具有一定粘性；应变传感层基于纳米银线/碳纳米管/PDMS复合材料，压力传感层从下至上包括下部电极层、压阻材料层和上部电极层，压阻材料层为具有孔洞结构的微米银片/碳纳米管/PDMS复合材料。本发明通过将硬度传感器粘贴在被测物体上对其按压进行硬度评估，硬度传感器的输出为压力传感层的输出与应变传感层的输出之间的比值。本发明具有结构简单、灵敏度高、成本低、信号易读出和应用广泛的优点。