公开/公告号CN114050480A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 南京开关厂有限公司;
申请/专利号CN202111345772.5
申请日2021-11-15
分类号H02B1/30(20060101);H02G1/00(20060101);A62C3/16(20060101);
代理机构32333 南京中高专利代理有限公司;
代理人曾路路
地址 210000 江苏省南京市江宁区滨江开发区
入库时间 2023-06-19 14:11:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-02-15
公开
发明专利申请公布
机译: 热风阀温度的有效实时监测的温度监测装置和方法
机译: 晶片表面温度实时监测方法在半导体晶片清洁设备和温度传感器,用于晶片表面温度测量
机译: 在半导体晶片清洁装置中实时监测晶片表面温度的方法和用于测量晶片表面温度的温度传感器