公开/公告号CN114035029A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-11
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力集成电路制造有限公司;
申请/专利号CN202111268376.7
申请日2021-10-29
分类号G01R31/311(20060101);
代理机构31211 上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人郭立
地址 201315 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
入库时间 2023-06-19 14:09:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/311 专利申请号:2021112683767 申请日:20211029
实质审查的生效
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