MEMS探针表面超硬耐磨电镀涂层的制备方法

摘要

本发明涉及一种MEMS探针表面超硬耐磨电镀涂层的制备方法，包括如下步骤：(1)表面清洁：通过有机溶剂表面擦拭、表面活性剂清洗或超声波清洗的方式清除探针基体表面异物；(2)去氧化层：去除探针基体表面氧化物；(3)电镀贵金属；(4)电镀Rh；(5)清洗：电镀Rh完成后及时快速用去离子水进行清洗；(6)后处理：清洗完成后在纯水中浸洗，然后用30‑80℃的热水冲洗；(7)烘干：后处理完成后，将镀件置于50‑90℃烘干。本发明首先在探针表面镀贵金属层，随后在贵金属层上镀较厚的铑金属层，通过多复合层的设计，避免镀层开裂，同时提升了产品的机械性能并提高了接触阻抗和耐磨性，进而提高探针的测试寿命。