一种用于MEMS电容型传感器的电容-电压变换电路

摘要

本发明提供一种用于MEMS电容型传感器的电容‑电压变换电路，包括：电压激励源、共模电荷控制器和电荷电压转换模块；其中，电荷电压转换模块包括：第一级差分放大器、第二级差分放大器、增益误差矫正器、有源噪声抵消器和电荷反馈单元，由于在第一级差分放大器放大预设电容传感器寄生电容的置位噪声信号后，与第一级差分放大器连接的有源噪声抵消器能够对置位噪声信号进行吸收、并且分别与有源噪声抵消器和第二级差分放大器连接的增益误差矫正器可以对第一级差分放大器及第二级差分放大器产生的增益误差加以矫正，因此在降低噪声的同时提高了增益精度，从而显著提升能效。