基板扫描映射装置、其扫描映射方法及扫描映射示教方法

摘要

基板扫描映射装置(4)对收容有沿规定的排列方向排列的多个基板(10)的容器内的基板(10)进行扫描映射。该基板扫描映射装置(4)具备：传感器(16)，其检测基板(10)的状态；操作器(14)，其使传感器(16)移动；以及控制装置(18)，其控制操作器(14)来使传感器(16)沿着扫描映射路径移动。控制装置(18)对在基板(10)的排列方向上位置不同的第一扫描映射位置和第二扫描映射位置进行设定，并使用第一扫描映射位置和第二扫描映射位置来设定扫描映射路径。