多锚固件高频加速度计

摘要

公开具有多个锚固件的单轴摆动式加速度计。多个锚固件可围绕摆动式检测质量块的旋转轴布置。多个锚固件中的每个可以通过均沿着旋转轴延伸的两个扭转弹簧耦合到检测质量块。多个锚固件允许耦合到检测质量块的扭转弹簧的数量增加，并因此可实现检测质量块的更大的扭转刚度。由于较高的扭转刚度，公开的单轴摆动式加速度计可部署在需要增加扭转刚度的高频环境中，例如约20kHz及以上。