用于分析粒子，并且具体是粒子质量的系统

摘要

本发明涉及一种用于分析粒子的系统，所述系统包括：NEMS装置，所述NEMS装置包括至少一个NEMS传感器，所述NEMS传感器用于检测撞击所述至少一个NEMS传感器的粒子，每个NEMS传感器包括NEMS传感器区域；粒子透镜组合件，所述粒子透镜组合件包括至少一个粒子透镜，所述粒子透镜用于将粒子聚焦到所述至少一个NEMS传感器中的NEMS传感器上，其中所述粒子透镜组合件与所述至少一个NEMS传感器区域间隔开一定分隔距离，其中所述系统被配置成将限定在所述粒子透镜组合件与所述NEMS装置之间的空间维持在一定压力下，在所述压力下，参考粒子的平均自由路径大于所述分隔距离。本发明还涉及对应的方法。