大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整方法

摘要

本发明属于光学元件加工技术领域，公开了一种大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整方法，其过程为：待修整研磨盘通过螺纹连接到机床上，在线修整机构通过在线修整机构安装支架连接到机床上，所述方法中量化控制百分表通过安装支架连接到在线修整机构安装支架上，从而与机床床身连接到一起，在线修整机构机身上加装转接支架，量化控制百分表安装到安装支架上，与转接支架接触。本发明修整方法允许根据研磨盘平面度测量结果精确调整修整量，从而使得研磨盘平面度达到指定精度。